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一、产品概述:分子束外延(MBE)法是生产砷化镓外延片的方法之一,该法可制出多元、多层、同质、异质、超晶格和量子阱等结构的外延材料。晶体纯度高,化学稳定性好。二、主要特点:1. 可制作大规格坩埚(最大直径12inch,最大高度17inch);2. 密度高(最高可达2.2g/cm3);3. 纯度高(>99.99%);4.不易开裂(层间强度高)。三、产品应用:主要用于MBE法合成半导体单晶及Ⅲ-Ⅴ族化合物。
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